




特種氣體的運(yùn)輸
算出運(yùn)輸量
氣體混裝的合算
從容器輸運(yùn)的安全來說,1好盡量避免與其它氣體混裝。在不得已混裝時(shí),合肥特種氣體,按照下列方法進(jìn)行合算。
(1)混裝壓縮氣體狀態(tài)的可燃、有毒氣體時(shí);
可燃?xì)怏w量(米3 )/300+有毒氣體量(米3 )/1O0
(2)混裝壓縮氣體狀態(tài)的可燃?xì)夂鸵夯瘹怏w狀態(tài)的有毒氣時(shí):
可燃?xì)怏w量(米3 )/300+有毒氣體量(公斤)/1000


特種氣體的作用:
1、做保護(hù)介質(zhì),通常使用氦氣、氬氣、氮?dú)庥糜诟呒儍簟⒊^緣、超導(dǎo)等。
2、能量介質(zhì),主要用到氫氣、氧氣等,工業(yè)特種氣體,是航空航天的重要燃料。
3、反應(yīng)及中和介質(zhì),特種氣體價(jià)格,在精細(xì)化工、生物醫(yī)1療中用于反應(yīng)、保護(hù)等。
4、冷凍和保鮮介質(zhì),常用液氮、二氧化碳等用于食品加工。
5、綜合手段與介質(zhì),應(yīng)用于制造業(yè)的成型保護(hù)、核反應(yīng)堆的保護(hù)、電光源照明行業(yè)和吹掃等。

特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工
供氣系統(tǒng)的選擇
簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)
簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)主要針對(duì)4英寸及以下半導(dǎo)體芯片廠、半導(dǎo)體材料的科研機(jī)構(gòu)以及一些單臺(tái)的工藝設(shè)備等。它們的制程簡(jiǎn)單,特種氣體廠商,通常不需要連續(xù)性供氣,對(duì)氣體供應(yīng)系統(tǒng)的投資預(yù)算低。
惰性氣體瓶架則采用全手動(dòng)系統(tǒng),有些甚至用單瓶系統(tǒng)。所有氣體共用一個(gè)氣體房,甚至沒有氣體房,特氣鋼瓶和輸送系統(tǒng)有時(shí)放在回風(fēng)夾道,或直接放在工藝制造設(shè)備旁邊或隔壁。如果沒有特別危險(xiǎn)氣體一般共用一個(gè)抽風(fēng)系統(tǒng)。簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)通常存在安全隱患。


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